两探针电阻率测试仪主机技术参数
（1）测量范围：
     可测硅晶体电阻率：0.005-50000Ω•cm
     可测硅棒尺寸：zui大长度300mm；直径20mm（均可按用户要求更改）。
（2）恒流源：
     输出电流：DC0.001-100mA  五档连续可调
     量程：0.001-0.01mA（1-10μA）
           0.01-0.1mA（10-100μA）
0.1-1.0mA 
           1.0-10mA
           10-100mA
恒流精度：各档均优于±0.05%
（3）直流数字电压表：
     测量范围：0-199.99mV
     灵敏度：10μA
     基本误差：±（0.004%读数±0.01%满度）
     输入阻抗：≥0.3%
（4）电阻测量误差：≤0.3%
（5）两探针头：KDT-9
     探针间距：1.59±0.01mm   探针直径Φ0.8mm
     游移率：＜0.2%           探针材料：硬质合金（WC）
     探针压力：3±1N/单针
（6）供电电源：
     AC   220V   ±10%    50/60   Hz.   功率：12W
（7）使用环境：
     温度：23±2℃   相对温度：≤65%
     无较强的电场干扰，无强光直接照射。
（8）重量、体积：
     主机重量：7.5Kg
    体积：390×340×190（单位：mm  长度×宽度×高度）

两探针电阻隔率测试仪（以下简称两探针仪）是按照我国国家标准及美国材料与试验协会（ASTM）*的材料验收检测方法“两探针法”设计。它适合于测量模截面尺寸是可测量的，而且棒的长度大于横截面线度的有规则的长棒，例如横断面为圆形、正方形、长方形或梯形的单晶或多晶锭。