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本设备以工业普气为原料气，经催化冷却，二级吸附，精密过滤的方法除去杂质、一氧化碳、二氧化碳、水汽和尘埃获得高纯度的氮气。
本设备结构简单，系统气密性好，所用催化剂可长期使用，二级双塔并联结构的干燥器延长了干燥器再生时间，再生设定周期大于48小时，节能高效，限度的保证了纯气的品质，高效吸附剂可在产品内再生后重复使用。适用于需要大量高纯氮气的半导体、光纤、显像管等主要生产部门。
由于一般液氮汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~10ppm。有时气体供应商提供的氮气超过了此范围，但使用氮气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氮气纯化装置后不论氮原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入真空炉的氮气，纯度始终是恒定的。一般 O2＜1ppm,水分＜2ppm，这样稳定的氮气对生产物体质量是有保证的。
