产品简介
         OWT-100采用PHYS技术，对透明、半透明材料的厚度、TTV进行无接 触测量，其对
        透明、半透明材料的高精度精确测量的性价比在同类测试仪器中是的。
 
 产品特征
        ■无接触无损伤测量
        ■高精确度及重复性
        ■测量材料范围广，透明、半透明、不透明几乎所有材料的厚度、TTV
        ■抗干扰强，稳定性好                                       
        ■强大的工控机控制和大屏幕显示
        ■一体化设计操作更方便，系统稳定
        ■为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
        ■ 超高测试速度

技术指标
        ■测试尺寸：50mm-200mm.
        ■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um  
        ■厚度测试精度：+/-0.1um
        ■厚度重复性精度：0.050um
        ■TTV 测试精度: +/-0.05um
        ■TTV重复性精度: 0.050um
        ■测量时间: <1秒
        ■材料：透明、半透明材料
        ■尺寸: 560X650X400mm
        ■电源：220V 50HZ  300W
 
 典型客户：        
    蓝宝石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企业等