一、简介

FT-NMT04是一个多功能的原位SEM/FIB纳米力学测试系统，能够准确地量化材料在微米和纳米尺度上的力学行为。作为基于MEMS传感器的纳米压痕，FT-NMT04是基于FemtoTools微机电系统（MEMS）技术。利用二十多年的技术创新，这种原位纳米压痕具有超高的分辨率、可重复性和动态响应。

FT-NMT04为金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微结构的力学测试而优化。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的力学测试能力可以扩展到各个研究领域的多功能要求。

二、 功能

• 功能特点：

纳米压痕、压缩、拉伸、断裂和疲劳测试

基于MEMS的传感技术实现了超高的分辨率和重复性，力从0.5 nN到200 mN，位移从0.05 nm到21 mm。

能够进行连续刚度测量（CSM）或高达500Hz的疲劳测试，而不需要复杂的动态校准

真正的位移控制测试，使快速应力下降的量化成为可能（也可以选择基于力反馈的力控制测量）。

3或4轴（x、y、z、旋转），闭环传感器，使用所有轴上的位置编码器对准样品

高温测试，可高达800°C

能够将样品依次对准纳米压头、电子束和EBSD检测器，以评估特定晶粒和位置的硬度（仅适用于4轴配置）。

简单确定压头面积函数和框架顺应性

强大的数据分析工具来评估测量结果，并应用配合或函数来计算材料属性

SEM样品台支架使系统能在SEM腔内快速安装和拆卸

紧凑的模块化设计使其能够集成到几乎所有的SEM中

可定制的测量程序和原理

• 技术参数：

力传感器

- Max：200 mN

- 本底噪声：0.5 nN（在10 Hz）。

- 测量频率可达96 kHz

位移传感（粗略的）

- 位移范围：21毫米

- 位移本底噪声：1 nm (在10 Hz)

- 测量频率：50 Hz

位移传感（精细）

- 位移范围：25 μm

- 位移本底噪声：0.05 nm (10 Hz时)

- 测量频率可达96 kHz

3轴和4轴力传感器对准样品

- X、Y、Z闭环定位范围：21mm x 12mm x 12 mm

- X、Y、Z闭环定位本底噪声：1纳米

- 样品旋转范围： 360°

三、 应用

典型的应用包括通过微柱压缩测试或狗骨试样拉伸测试、薄膜或纳米线来量化塑性变形机制。此外，在压缩测试中的连续刚度测量可以量化微梁断裂测试中的裂纹生长和断裂韧性。由于FT-NMT04具有低本底噪音（500pN和50pm），FT-NMT04可以实现可重复性的低位移纳米压痕，以及与EBSD图谱好的关联性。