中图仪器推出的SuperViewW1白光干涉三维轮廓仪亚纳米级显微测量成像系统，几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全，结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能。

产品功能

1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

应用

白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

SuperViewW1白光干涉三维轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

产品特点

特殊设计的隔振系统

双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。

3D重建算法

重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，精度可以打亚纳米级别。

一体化操作软件

一体化操作软件，测量与分析同界面操作，预先配置好分析参数，软件自动统计测量数据，实现快速批量测量。