中图仪器SuperViewW1国产白光干涉仪品牌采用光学非接触式测量方法实现器件表面形貌的3D测量。具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，加上其光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

产品功能

1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；

2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；

4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

结构特点

1.双通道气浮隔振系统大幅减小了环境振动的影响，还可以降低高精度量测时的噪声，提高超光滑表面的测试精度。

2.一体化操作的测量分析软件自动对焦样品表面，自动智能配置测试参数，使原来麻烦的“找条纹"，“选择测试参数"过程，在一分钟之内，自动完成。

3.双重防撞保护功能，除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，能保护样品和设备的安全。

软件功能

(1) 提供多种数据处理方式。

提供校平、镜像、旋转等操作调整图像位置；

提供空间滤波、标准滤波、阈值纠正、去除形状、频谱变换等滤波操作对数据进行修正；

提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域。

(2) 提供多种分析工具。

提供距离、台阶高度等要素测量；

提供点、线、圆弧、角度等特征测量，以及直线度、真圆度等形位公差评定，为用户展现强大的轮廓分析功能；

提供基于表面的纹理分析，方便地观察纹理方向与纹理均质性；

提供图形分析、岛屿分析、分形分析、顶点计数、孔的体积等多种有针对性的分析功能；

提供频谱分析功能，可获取幅度和相位信息、平均功率谱密度信息、自相关性等；

提供全面的线粗糙度、面粗糙度的参数分析功能；

提供依据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)计算的2D，3D参数。

(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。

(4) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意切换。

(5) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户的分析项目组合起来，避免重复操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可实时提取表面二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。

(7) 拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word、Pdf等常用办公软件中。

薄膜粗糙度测量

超精密加工

SuperViewW1国产白光干涉仪品牌分辨率0.1μm，重复性0.1%，可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于测试直至反射率的各类高反表面。