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• 所有型号的产品都具有表面、边缘和模式自动对焦的特色，增加了测量灵活性以用于多种用途。可添加激光自动对焦系统(作为出厂安装的选件)。
激光自动对焦(出厂安装选件)
在高速移动中实现稳定、快捷的高度测量。此选件提供稳定的测值。采用双针孔测量系统，降低了对表面倾斜的依赖。
程控环形照明
| QV Apex302 | QV Apex404 | QV Apex606 | ||
| 测量范围 (X×Y×Z) | 300×200×200mm | 400×400×250mm | 600×650×250mm | |
| 放大倍率转换系统 | PPT1X-2X-6X | |||
| 分辨力 | 0.1µm | |||
| 长度测量装置 | 线性编码器 | |||
| 影像检测方式 | CCD 照相机 | |||
| E1X, E1Y | (1.5+3L/1000)µm | |||
| 精度 *1 *2 | E1Z | (1.5+4L/1000)µm | ||
| LAF 重复精度 *3 | E2XY | (2.0+4L/1000)µm σ= 0.4µm | ||
| 工作台玻璃尺寸 | 339×271mm | 493×551mm | 697×758mm | |
| 台面承重 *4 | 20kg | 40kg | 50kg | |
| 尺寸(W×D×H) | 859×951×1609mm | 1027×1407×1778mm | 1309×1985×1794mm | |
| 重量 (包括机器设置台) | 约 360kg | 约 579kg | 约 1450kg | |
| 型号 | Hyper QV302 | Hyper QV404 | Hyper QV606 | |
| 分辨力 | 0.02µm | |||
| 长度测量装置 | 线性编码器 | |||
| E1X, E1Y | (0.8+2L/1000)µm | |||
| 精度 *1 *2 | E1Z | (1.5+2L/1000)µm | ||
| 台面承重 *3 | E2XY | (1.4+3L/1000)µm 15kg | 30kg | 40kg |
| PRO | PRO3 | |||
| 照明装置 | LED | RGB (彩色) | 3 | − |
| 白色 | 3 | − | ||
| RGB (彩色) | 3 | − | ||
| 卤素灯 | 同轴照明 | − | 3 | |
| 透射照明 | − | 3 | ||
| 程控环形照明 | − | 3 | ||
| 观察装置 | 可编程电动旋转工作台 | 3 | 3 | |
| 影像检测方式 | CCD 照相机 (黑白) | 3 | − | |
| 彩色CCD 照相机 | − | 3 | ||
| 激光自动对焦 | 工厂安装选件 | 工厂安装选件 | ||
| 带触发式测头规格 | 3 | 3 | ||
| Hyper型 | 3 | − | ||
