品牌
其他厂商性质
所在地
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；
以光刻机用激光干涉测量系统为基础，
在保留高稳定性、高精度、高采样速率性能的同时，
将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里，
一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验；
典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。
系统组成：
LH2000激光测头及附件
环境补偿单元
LaserLC测量软件
线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等）
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）
| 激光头尺寸 | 330mm×110mm×95mm |
| 激光头重量 | 3.3kg |
| 激光光束直径 | 6mm |
| 激光功率 | >0.5mw |
| 真空波长 | 632.99nm |
| 频差 | 可定制 典型值7±0.5 MHz |
| 工作温度范围 | +10℃~+30℃ |
| 储存温度范围 | +15℃~+45℃ |
| 激光稳频精度 | ±0.02ppm |
| 线性测量范围 | 40m |
| 线性测量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器) |
| 分辨率 | 1nm |
| 测量速度 | 2m/s |
| 工作电源 | 220V/50Hz |
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
