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一、 产品概述
激光干涉仪以激光波长为已知长度，采用激光干涉原理来测量位移长度，是至今的高精度测量仪器，其测量结果可溯源到长度自然基准，在精密测量和制造领域应用广泛。
QL--600激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，技术源于大学精密测试技术及仪器国家重点实验室数十年研发成果，拥有自主知识产权，全产业链自主生产，技术指标达到或优于国外同类产品，拥有较高的测量精度和性价比，其稳定的重复性和高精度得到业界，受到用户的。
QL--600激光干涉仪系统主要设计用于机床及三坐标测量机位置精度和几何精度的评价与标定，并被设计得便携、易于调整和方便使用。该系统由光学组件和测量设备组成，并可配置成各种不同的应用组合。QL--600激光干涉仪配置不同光学镜组可测量线性定位精度、角度、直线度、平行度、垂直度、平面度。
激光干涉仪是一种以激光波长为已知长度，利用迈克尔逊干涉原理测量位移的通用长度测量仪器。激光干涉仪一般使用氦氖激光，其光为红色，真空波长为632.99nm。
当两束振动方向相同、频率相同，位相相同或位相差恒定的光在空间任一点相遇时其位相差也是恒定的，因而在空间某些地方的振动始终加强，而在另一些地方的振动始终减弱或抵消，这种现象称为光的干涉。
QL--600激光干涉仪的激光器输出含两种正交模式的双纵模激光，这两种模式的光强用光敏二极管测量，通过加热器控制激光管长度来实现稳频。
在线性测量中，角锥反射镜将两束光返回到分光镜中，光束叠加并彼此干涉。如果测量光路长度改变（角锥反射镜C移动），干涉光束的相对相位将改变，由此产生的相长干涉和相消干涉的循环将导致叠加光束强度的明暗周期变化。角锥反射镜每移动316nm（因为此移动会造成633nm的光路长度变化），就会出现一个光强变化循环（明－暗－明），通过计算这些循环来测量移动并进行进行相位细分。
三、 仪器特点
QL--600激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，技术源于大学精密测试技术及仪器国家重点实验室数十年研发成果，拥有的自主知识产权。生产厂家是极少数拥有激光器和激光干涉仪全套产线的高科技企业，技术指标达到或优于国外同类产品，其的性能和的稳定性受到。
QL--600激光干涉仪采用高性能的稳频氦氖激光器， 其真空波长为632.99nm，且长期波长稳
定性优于±0.04ppm。线性测量距离大于40m，测量分辨力达到1nm，具有的测量精度。
在检定线性定位精度时，操作者只需设定好测量参数，在软件界面点击【开始检定】按钮，系统即可完成定位精度的全自动测量，极大减轻了操作者的劳动强度，同时也避免人工操作引入的误差
检定过程中自动处理数据、自动生成报表，海量检定记录存储，随时查询打印。
序号 | 货物名称 | 主要规格 |
一、 | QL--600激光干涉仪 | |
1.1 | QL--600激光头 | 激光功率：＞0.5mW 波长长期稳定度：±0.04ppm 分辨率：1nm 测量速度：4m/s 预热时间：≤5min 动态采集频率：50kHz 工作温度范围：0-40℃ 存储温度范围：(-20~70)℃ 环境湿度：(0~95)%RH |
1.2 | 环境测量及波长补偿单元 | 相对湿度：工作范围 0-95%RH 测量精度 ±5%RH 空气压力：工作范围 65-115kPa 测量精度 ±100Pa 空气温度：工作范围 0℃-40℃ 测量精度 ±0.1℃ 材料温度：工作范围 0℃-55℃ 测量精度 ±0.1℃ 分辨力 0.01℃ |
1.3 | 线性位移测量单元 | 测量范围：≥40m 分 辨 率：1nm 测量精度：±0.5ppm (0~40)℃ 测量速度：4m/s |
二、 | 直线度测量单元（0.1-4m） | 直线度测量范围：±3mm 直线度测量精度：±0.5%示值±0.5±0.15L2μm （L为测量距离,单位米） 分 辨 率： 0.01μm |
QL--600激光干涉仪满足JBT 5610-2006 《激光干涉仪》，JJG 353-2006 《633nm稳频激光器检定规程》，JJG 739-2005《激光干涉仪检定规程》等国家标准。
QL--600激光干涉仪根据JJG 739-2005《激光干涉仪检定规程》进行校准。
编号 | 产品描述 | 数量 | 备注 |
一、QL--600激光干涉仪 | |||
1激光头及安装附件 | |||
1-1.1 | QL--600激光头 | 1 | |
1-1.2 | 电源适配器及线缆 | 1套 | 电源适配器、三芯插头 |
1-1.3 | USB连接线 | 1 | |
1-1.4 | 三脚架 | 1 | |
1-1.5 | 云台 | 1 | |
1-1.6 | 安全携带箱 | 1 | |
1-1.7 | 三脚架携带包 | 1 | |
2 环境补偿组件 | |||
1-2.1 | LC2000传感器适配卡 | 1 | |
1-2.2 | 空气传感器 | 1 | |
1-2.3 | 材料传感器 | 3 | 注：标配一个 |
1-2.4 | 传感器线缆 | 1套 | USB线1根、传感器连接线4根 |
3 线性位移测量组件 | |||
1-3.1 | 线性反射镜 | 2 | |
1-3.2 | 干涉镜 | 1 | |
1-3.3 | 调光靶标 | 1 | |
4 光学镜安装组件 | |||
1-4.1 | 镜架（配螺纹杆） | 2 | |
1-4.2 | 支杆 | 3 | M8 |
1-4.3 | 磁力表座 | 2 | |
1-4.4 | 固定底板 | 2 | |
1-4.5 | 气泡水平仪 | 1 | |
1-4.6 | 磁力表座适配器 | 1 | M8 |
二、直线度测量组件 | |||
2-1 | 直线度干涉镜（0.1-4m） | 1 | |
2-2 | 直线度反射镜（0.1-4m） | 1 | |
三、电脑 | |||
3-1 | 笔记本电脑/台式电脑 | 1 | |
三、软件 | |||
3-1 | 测量分析软件 | 1 | U盘 |
四、使用手册 | |||
4-1 | QL-600激光干涉仪使用手册 | 1 | U盘 |
4-2 | QL-600激光干涉仪软件使用手册 | 1 | U盘 |
五、检测报告 | |||
5-1 | 中国出具检定证书 | 1 | |
六、配置清单 | |||
6-1 | QL-600激光干涉仪配置清单 | 1 | |
