• 快速稳定的控制

• 车载气体转换模型

• 嵌入了 22 种特的气体

• 多参数输出：质量流量、温度和压力

• USB-C 和蓝牙通信

用于低气体流量的质量流量/压力控制器

FLEXI-FLOW 紧凑型质量流量/压力控制器适用于在真空和 17 bar(a) 之间的工作压力下精确测量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之间的流量范围。该仪器将基于毛细管 MEMS 技术的快速稳定的热质量流量传感器与精确且经过验证的旁路结构相结合。由于特的国际专，精确的质量流量测量得以建立，几乎不受温度和管线压力变化的影响。结合集成温度和上游和下游压力传感器，22 种气体的嵌入式数据库可实现精确的机载转换。多参数仪器为用户提供有用的过程信息。 

FLEXI-FLOW 紧凑型质量流量/压力控制器目前有 3 种型号可供选择：

• “高级预配置”(PA)，量程比 1:500，流量 + 温度 + 上游和下游压力，4 个流量范围（FS，基于 N 2）：
  FF-A500 型 - 500 ml n /min
  FF-A2K0 型 - 2 l n /min
  FF-A5K0 型 - 5 l n /min
  FF-A20K 型 - 20 l n /min

• “预配置标准”(PS)，量程比 1:50，流量 + 温度，4 个流量范围（FS，基于 N 2）：
  FF-S500 型 - 500 ml n /min
  FF-S2K0 型 - 2 l n /min
  型FF-S5K0 - 5 升/分钟
  FF-S20K 型 - 20 升/分钟

• “按订单制造”(BtO)，调节比 1:1000；在 0.5 和 20 l n /min（FS，基于 N 2）之间自由选择范围，
  FF-C10 型：流量 + 温度
  FF-C11 型：流量 + 温度 + 上游和下游压力；
  BtO 模型也可用于配置多达 8 个通道的多通道版本。

• 测量/控制系统
  流量范围（可提供中间范围）	分钟。 最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min （以 N 2计）
  压力范围	PA：0...17 bar(a) PS：不可用 BtO：FF-C10：不可用 / FF-C11：0...17 bar(a)
  精度（包括线性度）（基于实际校准）	PA：±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 )； PS：±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 ); BtO：高达 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 )； 对于其他气体增加转换不确定性；查看多气体表；
  重复性	流量传感器：< ±0.2% Rd； 压力传感器：< ±0,2% FS
  调节比	PS：1:50 PA：1:500 BtO：高达 1:1000
  最大限度。运营压力	16巴克
  多气体/多范围	以及这些气体的任何混合物的嵌入式气体数据
  稳定时间（受控，典型）	< 150 毫秒
  长期稳定性	< 0.5% 满量程 3 年；然后 < 0,2% FS 每年
  控制稳定性	< ± 0,1% FS（1 l n /min N 2 的典型值）
  工作温度	0 … 50摄氏度
  储存/运输条件	-20 … +80 °C，最大值 95% RH（非冷凝）
  安装	任意位置，姿态敏感度可忽略不计