GFC 质量流量控制器的操作原理
时间:2023-05-06 阅读:240
GFC 低成本铝制或不锈钢热质量流量控制器
设计特点
± 1% FS 精度为标准
刚性金属结构
可用流量范围从 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm
最大压力为 1000 psig (70 bars)
泄漏完整性 1 x 10 -9 sccs 的氦气
NIST 溯源认证
内置可倾斜 LCD 读数(某些型号)
本地或远程设定点控制
0-5 Vdc 和 4-20 mA 信号
电路保护
累加器选项
操作原理
计量气体被分成两条层流路径,一条通过主流量管道,另一条通过毛细管传感器。两个流道都被设计成确保层流,因此它们的流速比是恒定的。
传感器管上的两个精密感温绕组被加热,当流动发生时,气体将热量从上游绕组传递到下游绕组。产生的温差与传感器绕组的电阻变化成正比。
惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度相关的电阻梯度,该电阻梯度与瞬时流速成线性比例。
生成 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的输出信号,指示基于质量分子的计量气体流速。
The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 闭环控制电路连续监测质量流量输出并将其保持在设定的流量。
在规定的限制范围内,流速不受温度和压力变化的影响。
GFC 质量流量控制器
GFC 型热质量流量控制器设计用于指示和控制气体的设定流量。
GFC 以的低成本将传统质量流量设备的特性和精度结合到独的紧凑型设计中。这些控制器中的每一个都包含一个先进的“U”形管传感器以及由用于非腐蚀性气体的铝和黄铜或用于腐蚀性应用的 316 不锈钢制成的流道元件。可从变送器外部进行调零和量程调整。