烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。

烧结区炉管采用耐热铸钢制的马弗炉炉管，且炉管留有充分的长度，可使保护气氛稳定，能保证传送带上的横向温差控制在±2℃以内。为了不使在预烧区脱润滑剂时污浊了的保护气体流入烧结区，在预烧区和烧结区之间设有挡板，以阻止这部分气体流入。炉管的隔热材料除承受炉管的重力外，全部采用陶瓷纤维，因此热经济性好，隔热效果好，从而使炉体表面温度控制在60℃以下。用SiC加热元件间接式加热。可以从外部更换。另外加热器的各个端子采用的是耐热材料。

金属还原高温烧结炉使用的注意事项

(1)当使用氢气或分解氨时，要先通入氮气，在确保炉中的空气被排出时，才能通电升温，以防止打鸣和爆炸。

(2)对钼丝作加热元件的烧结炉，在通电前炉体中应通入保护气体，以防止钼丝氧化而脆断。

(3)炉门及气体排出口应点明火烧除，以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。

(4)若电热元件为铁铬铝电阻丝，在升温至1100℃时应停留一段时间（30min左右）再升温，以防止电阻丝表面温度过高而损坏。

(5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求，以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。

(6)停炉前应先断电，在炉温降到200℃以下时再停气和停水。

(7)除了因维修必须停炉外，要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停，会造成加热元件易于老化，耐火材料易于碎裂，炉内气氛不纯，炉温容易波动等弊端。