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简介
原硅片PL检测模组可将原硅片中肉眼不可以见的缺陷检测出,同时兼容多晶、单晶、类单晶硅片。
可针对于单晶、多晶、类单晶硅片的位错、绒丝、晶界等缺陷检出。
此模组为标准模组,可集成于硅片分选机、制绒上料机,达到控制产品质量、节约制造成本的目的。
硅片及对应PL图像
产品特性
检测出硅片中各种肉眼不可见缺陷
自动预测硅片的效率参考值
自动统计各缺陷与良品数量及比例,
产能大于6000片/小时
无接触式检测,不对硅片二次损伤
提前筛选出问题片,节约制造成本
技术指标
可检测缺陷: 绒丝、晶界、黑斑、污染、杂质、隐裂等 模块产能: >6000P/H 相机类型: 高清红外线扫工业相机 适用电池片规格: 156至210mm(±0.5mm) , 160~200μm
缺陷图像