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原装KITZSCT隔膜阀KD4MS-WC对焊手动隔膜阀日本开滋阀门|上海方策机电设备有限公司代理经销
半导体制造流程的使用环境要求供气系统具备高纯度化、高可靠性。
KITZ SCT的SCV(Super Clean Valves)能满足客户需求,可靠性、耐久性出色。该产品的特点包括:通过限度缩小内容积提高气体置换性;通过缩小密封圈接气面积提高脱气性并防止塑料膨胀;通过使用铝材制造活塞提高阀门工作速度等。
以高级类型[KD系列]为代表,KITZ SCT运用高超的技术实力和丰富的技术诀窍,提供符合各种用途的产品。
“KD”系列阀门作为采用紧凑设计的直通隔膜阀,实现了高 Cv 值,而且具备可用于半导体用高纯度气体的品质,兼具高耐久、高耐腐蚀性能。
◎限度缩小阀体纵向开孔尺寸,使内容积缩小到1.36cm3(1/4"CVC 外螺纹 OPEN 时),实现了优异的气体置换性。
◎采用的接触气体部位密封结构,限度提高了密封性能、耐久性、脱气性能、耐腐蚀性能。
◎严格挑选隔膜材料提高耐腐蚀性能并采用成型方法,限度杜绝加工所造成的个体差异,实现了高耐久性能。
◎采用等级的制造环境和内面研磨处理,可用于半导体用高纯度气体,限度提高了防颗粒性能。