一、仪器用途 TGB-500 透反射式硅片检测显微镜主要用于太阳能电池硅片的观察.它能生产高清晰的图像,立体感较强，成像较清晰和宽阔，又具有长工作距离，并具有较大的视场范围和相应的放大倍数,配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制最普通的仪器.
二、技术参数 1.目镜
| 类型 | 放大倍数 | 视场(mm) |
| 大视野目镜 | 10X | Φ22 |
2.物镜
| 类别 | 放大倍数 | 数值孔径(NA) | 工作距离(mm) |
| 明暗场无穷远长距平场消色差物镜 | 5X | 0.12 | 9.7 |
| 10X | 0.25 | 9.3 |
| 20X | 0.40 | 7.2 |
| 40X | 0.60 | 3.7 |
3.光学放大倍数：50X 100X 200X 400X
4.三目镜,倾斜30˚,(内置检偏振片,可进行切换)
5.双层机械移动式(尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm)
6.粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置
7.照明系统：落射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,
透射 6V 20W 卤素灯,亮度可调,内置视场光栏, 蓝滤色片和磨砂玻璃
8.阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降
9.防霉:的防霉系统
10.成像系统:高像素的CCD摄像头
三、系统组成 (TGB-500)：1.硅片显微微 2.适配镜 3.CCD摄像器 4.A/D图像采集卡
四、总放大参考倍数 TGB-500：50--2000倍
五、选购件 1.图像测量软件 2.目镜： 20X 10X(带刻度) 3.物镜：50X 60X 80X 100X
