橡胶密封热式质量流量计5850E 和 i 系列

        经验证具有灵活性，能够满足各种质量流量测量需求。

        布鲁克斯仪器的橡胶密封质量流量计和控制器将工艺所需的准确性、可靠性和可重复性相结合，是一种能够为您提供高精度性能和长期稳定性并且经济有效的测量仪器。结果：使运营投资价值和回报。

设备具有长期稳定性，可确保完成生产目标

型号 5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i

        每条产品线都有主力设备型号 — 而我们的 5850E 和 5850i 系列热式质量流量控制器符合主力设备标准。该产品数十年来广泛用于世界各地的各种应用，其采用的超稳定流量传感器，能够实现可靠、准确、可重复的测量和控制以满足当今工业制造工艺苛刻的需求。

关键应用

• 化学品与石化分析和试验过程

• 实验室和分析系统

• 生命科学实验室

• 薄膜气相沉积

• 热处理、切割等其他热过程

• 真空应用

选择自身工艺需求的质量流量设备。

特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%

• 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计

• 流量范围宽 - 从3 sccm 一直到1000 slpm

• 耐高压等级 - 高达 1,500 psi

• 可拆卸式流量传感器

• 不受安装角度影响

• 能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容

• 电驱动阀超调

• 耐化学腐蚀阀门

优势

• 在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性

• 由于性能可靠，因此投资回报率出众

• 采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节

• 由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养

应用

• 化学品和石化催化剂研究和试验工艺

• 实验室和分析系统

• 生命科学实验室

• 太阳能

型号

规格

性能

等级

机械

诊断

电气

承诺