橡胶密封热式质量流量计4800 系列

        经验证具有灵活性，能够满足各种质量流量测量需求。

        布鲁克斯仪器的橡胶密封质量流量计和控制器将工艺所需的准确性、可靠性和可重复性相结合，是一种能够为您提供高精度性能和长期稳定性并且经济有效的测量仪器。结果：使运营投资价值和回报。

关键应用

• 化学品与石化分析和试验过程

• 实验室和分析系统

• 生命科学实验室

• 薄膜气相沉积

• 热处理、切割等其他热过程

• 真空应用

选择自身工艺需求的质量流量设备。

响应时间极快，适用于对时间要求严格的工艺

型号 4850 / 4860

        热式质量流量计和控制器的响应速度越快，工艺就越高效，生产效率越高。响应速度是 4800 系列的主要优势：该产品将基于 MEMS 的高级热传感器与的 PID 算法相结合以优化控制阀的响应速度，因此使4800 系列控制器能够根据设定值变化快速匹配实际的流量。本地操作界面 (LOI) 的选项能便于用户对设备进行查看、控制和配置，无需远程二次仪表。

特点

• 流量响应时间（完成时间）<0.75 s

• 创新型 MEMS 传感器和的 PID 算法

• 尺寸小巧，不足常规热式MFC的 一半：1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)

• 本地操作界面 (LOI) 选项可简化设置和操作；免费提供 LabVIEW VI 下载以进行设备监测和调零

• 通过 RS-232 实现数字化功能

优势

• 非常适用于各种常见的无腐蚀性气体

• 响应速度快，可在切换工艺配方时确保各步骤的迅速完成

• 非常适用于各 OEM：尺寸小巧，可轻松集成至紧凑的设备空间内并有助于加快安装

• 可选本地操作界面 (LOI) 是本地指示、设定值控制和设备配置的一站式解决方案；无需借助远程二次仪表

• 拥有多种通信方式，可轻松满足用户需求

应用

• 热处理、切割/焊接等其他热式工艺

• 太阳能/薄膜物理气相沉积 (PVD) 系统

• 用于测量和控制反应物、校准和样品气体流量的分析设备

型号

规格

性能

等级

机械

诊断和显示

电气

附加设备

承诺