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| 名称 | 惰性气体净化系统-GPH-DHDO |
| 产品特点 | ·输入：输入气体纯度要求：<1000>
·输出：清除杂质至<0.1 ppm（o2≤0.1="" ppm="">
·304L不锈钢罐（<10 ra="">
·再生操作简单方便
·内置数字温度控制器和气体流量计控制
·再生后可净化多达80L惰性气体
·设备需在270℃下再生（需使用5N纯度的95％N2 + 5％H2气体） |
| 电源 | ·220v 50Hz
·功率：500W（加热过程中） |
| 压力输出 | 0.5MPa |
| 工作温度 | 室温-300℃ |
| 气体泄漏率 | <2 x="" 10-9="" atm="" cc/sec=""> |
| 温度控制器 | 控温精度±1 ºC |
| 气流 | 400mL/min |
| 质保期 | 一年保修，终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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| 使用提示 | ·您可以选购精密质子流量计，输入气体更加准确（图一）
·此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接（图二）
图一 图二 |
| 外形尺寸 | 445mm L X 400mm W X 190mm H |
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