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在气体面板、气体柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方进行的微粒过滤。
| 材料 | 滤芯 | 由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜 |
| 住房 | 电抛光 316L 不锈钢 | |
| 下游清洁度 | 粒子 | <0.03><1>3) >0.01µm |
| 挥发物 | <10 ppb=""> | |
| 移除等级 | 0.0015 微米 | |
| 表面处理内饰 | ≤10 微英寸 Ra | |
| 氦泄漏等级 | 合格的 | 2 × 10 -10 atm/cc-sec |
| 已测试 | 1 × 10 -9 atm/cc-sec | |
| 浓度分辨率 | ±0.015 ppm | |
| 运行条件 | 入口压力： | 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) |
| 正向压差： | 0.4 MPa（4 巴；60 psid）@ 23°C（73°F） | |
| 压差： | 0.07 兆帕（0.7 巴；10 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) | |
| 工作温度： | 120°C (248°F) | |
| 颗粒保留 | 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒 @ 100 slpm（以穿透性的颗粒尺寸为参考） | |
| 流量等级 | 参考性能数据 | |
