产品介绍：

       所述ZeGage™临和ZeGage™临HR 3D光学廓提供非接触测量及微表征和纳米尺度的几乎任何表面特征，以及设置性能台式的新标准，易用性，灵活性，和精密级工业非接触式表面轮廓仪。

       基础 ZeGage™ Pro 模型提供纳米尺度的表面映射，满足大多数工业表面的需求。对于更光滑的样品，具有更精细的表面光洁度，ZeGage™ Pro HR 提供 20 倍以上的精度和 0.15 nm 的垂直精度。

       近十年来，ZYGO 的 ZeGage™ 产品一直在将干涉表面轮廓分析从实验室引入生产。借助 ZeGage Pro 和 Pro HR 系统，强大且值得信赖的功能（例如用于振动稳健计量的 SureScan™ 技术）现在与 ZYGO 的零件查找器和智能设置工具相结合，可以快速轻松地更换样品，限度地减少浪费的时间并限度地提高产量。

       与所有早期的 ZeGage™ 轮廓仪一样，ZeGage™ Pro 和 Pro HR 系统采用紧凑的台式设计。结合 SureScan™ 技术，无需昂贵的隔振台、系统外壳或耗材。它们还运行 ZYGO 的交互式控制软件Mx™，以实现简单和详细的可视化，以帮助您控制过程。

Mx 软件屏幕（单击图像查看大图）

       阅读更多内容，了解 ZeGage™ Pro 系统的强大功能、多功能性和价值如何使您受益。

主要特征：

    • 抗振，用于生产车间的计量和过程控制。

    • 符合 ISO 25178 标准的结果确保您对计量的信心。

    • 非接触式、基于区域的计量技术可防止零件损坏并且对零件铺设不敏感。

    • 测量不需要消耗品。

强大的性能

• 专有的非接触式测量技术通过 SureScan™ 技术得到增强，对振动的敏感性低，易于放置在您设施内的任何位置。

• 具有纳米级精度的定量表面计量提供了的测量能力。

• 高分辨率190万像素的图像传感器可在数秒内完成快速的面积测量，以实现出色的表面细节和可视化。

• 全自动测量序列和现场拼接可实现大面积的高分辨率检测。（需要可选的电动部件平台。）

多功能性

• 测量各种表面材料和参数，包括表面纹理、形状、台阶高度等的 2D 和 3D 轮廓。

• 随附的 Mx 软件提供了用于表面数据可视化、分析和报告的综合工具。

• 使用包括物镜转盘、手动和电动样品台以及用于使用 Cognex VisionPro® 进行薄膜形貌分析和 2D 分析的可选软件模块在内的附件扩展您投资的测量范围。

生产力和价值

• 智能设置技术通过自动化零件查找、灯光设置和扫描配置来减少培训时间并缩短零件更换时间。智能设置通常会在将样品置于物镜下后 1 分钟内生成个数据图。

• 与替代系统（包括机械接触测针轮廓仪）相比，具有成本效益的性价比具有优势。

• 非接触式方法意味着无需担心耗材更换成本。

• 紧凑、抗振的 SureScan™ 技术可轻松集成到您设施的任何位置。