【普乐斯】等离子干刻机干法刻蚀机 JY-36LN-昆山普乐斯电子科技有限公司手机版

详细介绍

触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控，数据导出（可选）
模块多样化选择，多层托架可选，处理量大

型号		JY-36LN
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC（标配）/PC（可选）
	操作系统	PLS定制
	触摸屏	15寸
整机规格	尺寸	W650×D900×H1650mm
腔体	尺寸	320×280mm
	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
电极	尺寸	W390×D317mm
	层数	1-7层，可选
托架	材质	铝合金（标配）/不锈钢（可选）
	层数	1层
真空计	皮拉尼式真空计	1个
流量计	MFC质量流量控制器	2个；Ar、N₂、O₂（可选）
真空泵	机械油式旋片泵	1套
发生器	中频/射频	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~500W
额定功率	整机峰值功率	4KW
机台供电	三相五线式	AC-380V
选购品	干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H₂安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件

注：以上参数仅供参考，本公司可能对相关产品参数进行调整，如有变动，恕不再另行通知。若有不明处，欢迎来电询问。

暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

包装清洗、钝化层蚀刻、聚亚酰胺蚀刻、增强粘接力、生物医学应用、聚合反应、混合物清洗、预结合清洗

快速反应，专业配合，精心打造服务生态链