SHY-500型，引进技术设计、制造的MFC（热式气体质量流量控制器），适用于微小流量和有一定腐蚀性的气体，具有微小流量瞬间显示，调节阀瞬间定位的特点。
流量范围：10、20、30、50、100、200、500ml/min
1、2、5、10、20、30L/min
耐压：3.0MPa 工作压差：0.05-0.3MPa
流量测量准确度：±1.0%FS
精度保证温度：15-35℃
供电电源：±15V DC
输入信号：0-5V DC
输出信号：0-5V DC
环境温度：5-45℃
可选配FD-1A/2A/3A/4A流量显示器进行单独控制
可测各类气体
