工业污水处理涉及许多技术和方法，包括物理处理法、化学处理法和生物处理法等。

1. 物理处理法主要是利用物理手段将污水中的有害物质分离净化，例如过滤、吸附、蒸发等。

2. 化学处理法采用化学药剂对废水进行沉淀、抓取、中和等作用，使有机物、重金属离子等向化学药剂迁移，达到净化废水的目的。

3. 生物处理法是利用微生物降解有机物的方法，将污水中的有机物质进行分解和转化。生物处理法分为好氧处理和厌氧处理两种。

对于工业废水处理，一般流程包括以下几个步骤：

1. 预处理：对废水进行预处理，以去除大颗粒的杂质和悬浮物。

2. 物化处理：采用物理或化学方法对废水进行处理，例如中和、氧化、混凝沉淀等。

3. 生化处理：利用微生物降解有机物的方法，将污水中的有机物质进行分解和转化。

4. 深度处理：经过前述处理后，废水的排放标准可能仍未达到要求，此时需要进行深度处理。常用的深度处理方法包括活性炭吸附、离子交换、电渗析、反渗透等。

5. 排放或回收利用：经过处理的废水可能达到排放标准，可以直接排放到水体中，或者经过进一步处理后进行回用。

地埋式污水处理设备具有以下优势：

1. 节约土地：设备可埋入地表以下，地表可用为绿化或广场用地，不占地表面积，不需盖房，更不需采暖保温。

2. 处理效率高：地埋式污水处理设备的生物接触氧化处理工艺，常见采用推流式生物接触氧化，其处理效果优于混合式或二级串联混合式生物接触氧化池。并能提高空气中的氧在水中溶解度。

3. 自动化程度高：整个设备处理系统配有全自动电气控制系统和设备故障报警系统，运行可靠，平时一般不需要专人管理，只需适时地对设备进行维护和保养。

4. 能耗低：地埋式污水处理设备由于采用生物接触氧化等高效节能水处理工艺，运行能耗较低。

5. 维护方便：地埋式污水处理设备通常采用模块化设计，安装简便，维护方便。

6. 适应性强：地埋式污水处理设备可适应不同的水质和处理要求，适用于各种类型的污水处理。

7. 噪音低：地埋式污水处理设备通常在地下运行，因此噪音较低，对周围环境的影响较小。

8. 扩展性强：地埋式污水处理设备可扩展性强，可根据需要增加处理能力或扩建新的处理设施。

综上所述，地埋式污水处理设备具有节约土地、处理效率高、自动化程度高、能耗低、维护方便、适应性强、噪音低和扩展性强等优势，是一种高效、环保的污水处理方式。