关键技术

● 实现高精度测量的一次离子枪

● 三重离子束聚焦质量分析器，复杂形貌样品的高精度分析

● TOF-SIMS 自动多样品测试

● 的离子束技术

● 通过平行成像 MS/MS 进行分子结构分析

● 可靠的远程访问功能，即使在远离设备的情况下也能进行“测量”和“诊断”

● 多样化配置

实现高精度测量的一次离子枪

的离子束技术，实现高空间分辨率

● PHI nanoTOF3 能提供高质量分辨和高空间分辨的 TOF-SIMS 分析：在高质量分辨模式下，其空间分辨率优于 500 nm；在高空间分辨模式下，其空间分辨模式优于 50 nm。通过结合高强度离子源、 高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器，可实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量。

三重离子束聚焦质量分析器(TRIFT)，复杂形貌样品的高精度分析

三重离子束聚焦质量分析器，适用于宽带通能量、宽立体接受角度、各种形貌样品分析

● 主离子束激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞出，特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品，即使相同的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异，因此导致质量分辨率变差，并对谱峰形状和背景产生影响。

● TRIFT 质量分析器可同时对二次离子发射角度和能量进行校正，保证相同二次离子的飞行时间一致，所以 TRIFT 兼顾了高质量分辨率和高检测灵敏度优势，对于不平整样品的成像可以减少阴影效应。

TOF-SIMS自动多样品测试

Queue Editor实现多样品自动测试

● 您可以轻松创建和编辑包括质谱分析、成像分析和深度剖析在内的所有测试方案。测试方案中除了测试条件外，还包括测试位置的信息。在创建测试序列后，程序可根据测试方案自动进行多样品多点分析。

全自动样品传送系统

● PHI nanoTOF 3 配置了在 XPS 的Q系列上表现优异的全自动样品传送系统：样品尺寸可达 100mm × 100mm，而且分析室标配内置样品托停放装置；结合分析序列编辑器（Queue Editor），可以实现对大量样品的全自动连续测试。

离子束技术

采用新开发的脉冲氩离子枪，获得的自动荷电双束中和技术

● TOF-SIMS 测试的大部分样品为绝缘样品，而绝缘样品表面通常有荷电效应。PHI nanoTOF 3 采用自动荷电双束中和技术，通过同时发射低能量电子束和低能量氩离子束，可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和，无需额外的人为操作。

标配离子枪新增FIB(Focused Ion Beam)功能

● 在 PHI nanoTOF 3 中，液态金属离子枪增加了 FIB 处理新功能，可使用单个离子枪进行横截面处理和横截面 TOF-SIMS 分析。
● 通过操作计算机，可快速轻松地完成从 FIB 处理到 TOF-SIMS 分析的全过程。此外，也具备冷却条件下 FIB 加工能力。

通过平行成像MS/MS进行分子结构分析

MS/MS平行成像同时采集MS1/MS2数据（）

● 在 TOF-SIMS 测试中，MS1 质量分析分析器接收从样品表面产生的所有二次离子碎片，对于质量数接近的大分子离子，MS1 谱图难以区分。通过安装串联质谱 MS2，对于特定离子进行碰撞诱导解离生产特征离子碎片，MS2 谱图可以实现对分子结构的进一步鉴定。

● PHI nanoTOF 3 具备串联质谱 MS/MS 平行成像功能，可同时获取分析区域的 MS1 和 MS2 数据，为分子结构的精准分析提供了强有力的工具。

可靠的远程访问功能，即使在远离设备的情况下也能进行“测量”和“诊断”

远程访问实现对仪器的远程控制

● PHI nanoTOF 3 允许通过局域网或互联网访问仪器。只需将样品台放入进样室，就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进行远程控制。我们的专业人员可对仪器进行远程诊断。

多样化的配置

● 串联质谱

● 氩团簇离子源

● 氩/氧气离子源

● 铯离子源

● 碳60离子源

● 样品台高/低温模组

● 真空传输管

● 惰性气氛手套箱

● 观察曲面样品专用样品托

● 通氧模组

● 聚焦离子束

● 聚焦离子束软件

● 离线数据处理软件

● 静态质谱图库