Maruyama Chiller冰水机 维修服务

可提供相关维修服务。冰水机主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

Maruyama Chiller冰水机 维修服务

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

Maruyama Chiller冰水机 维修服务

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

Maruyama Chiller冰水机 维修服务

制冷剂充注，水泵维修，系统检漏，改造翻新等服务

冰水机及热交换机 维修的类别
泵体、管路发生的泄露、流量小、冷却力、加热力的下降，温度无法调节等，按照客户遇到问题时提出的要求，进行维修。
1. 水泵泵体，卡住，异响，振动大
2. 冷冻机，无法制冷，管道堵塞，跳电
3. 维修热交换器、加热器

4.制冷剂充注，水泵维修，系统检漏，改造翻新等服务

高低温液体冷却机Chiller

温控精度（空载时）±0.05℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温