突出特点

Triglav™- 新型超高分辨率(UHR) 电子光学镜筒

• TriLens™ 物镜系统：*的电子束无交叉模式与三物镜相结合；
• 具有多个 SE 及 BSE 探测器的探测系统；
  • TriSE™+TriBE™
• Triglav™ - 低加速电压下的超高分辨率: 1 nm ( 1 keV ), 0.7 nm ( 15 keV )；
• 全新的 EquiPower™技术进一步提高电子束的稳定性；
• 电子束流高达 400 nA，并能实现电子束能量的快速改变；
• 优化的镜筒几何设计大可容纳8”晶圆
• 实时电子束追踪技术（In-Flight Beam Tracing™)可对电子束实时优化；
• 扩展的低真空模式，样品室气压能达到 500 Pa，实现不导电样品的观测；

• *的 TriBE™具有三个 BSE 探测器，可以选择不同立体角的信号进行采集。位于镜筒内部的 Mid-Angle BSE 和 In-Beam LE-BSE 探测器，分别用于检测中角及轴向的高角背散射电子，而样品室的 BSE 探测器用于探测低角背散射电子。三个探测器可以提供不同衬度的图像，并且能探测到低于 200 eV 的低能背散射信号；
• *的 TriSE™具有三个 SE 探测器，所有工作模式下二次电子信号的采集都进行了优化。位于镜筒内部的 In-Beam SE 探测器能在短工作距离下采集二次电子，SE ( BDM ) 探测器用于电子束减速模式下的超高分辨成像。In-Chamber SE 探测器能提供形貌衬度和立体感；
• 电子束减速技术（BDT）可在低至 50 eV 的低电子束能量下实现出色的分辨率（选配）。

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