1 主箱体：箱体材料：304不锈钢厚度3m
前窗：倾斜视窗，透明钢化安全玻璃厚度10mm
手套：进口丁基手套，手套口材料为阳极氧化铝，O型圈密封
过滤器：规格0.3微米，1个入口和一个气体出
搁物价：不锈钢材料，可上下调节
箱体照明：无紫外线白色光
接口：多个真空备用KF40接口

2 过渡舱 ：尺寸：直径385mm 长度600mm内置滑动托盘
3 工具舱：尺寸：直径150mm 长度300mm
4 气体净化循环系统
净化柱 循环系统
功能：气体密封，除水，除氧 工作气体:氮气，氩气
容器材料：304不锈钢 循环能力：集成风机流量90m^3/h
净化材料：铜触媒分子筛 再生操作：西门子PLC自动控制再生过程
水氧指标：<0.01ppm 再生气体：工作气体和氢气混合气体（氢气5-10%）

5 可选附件 ：水分析仪
氧分析仪
有机溶剂吸附系统
真空控制系统
集成式低温冰箱、烘箱
气体：工作气体为氮气，氩气等惰性气体再生气体为惰性气体和氢气混合气体（氢气5-10%）
标准情况下箱体内水含量（标准情况为1个大气压，20渡恒温）：<0.01pmm
标准情况下箱体内氧含量（标准情况为1个大气压，20渡恒温）：<0.01pmm
箱体内承受最小的真空值：>100pa
泄露率：<0.001vol%/h