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| 材料 | 沉积技术 | 密度 g/cm3 | Sp3% | 硬度 GPa | 对金属的摩擦系数 |
| 金刚石 | 自然 | 3.52 | 100 | 100 | 0.02~0.10 |
| a-C | 溅射 | 1.9~2.4 | 25 | 11~24 | 0.10~0.15 |
| a-C:H:M | 反应溅射 | 1.9~2.4 |
| 10~20 | 0.10~0.20 |
| a-C:H | 射频等离子体 | 1.57~1.70 |
| 16~40 | 0.02~0.47 |
| a-C,a-C:H | 离子束 | 1.8~3.5 |
| 32~75 | 0.06~0.19 |
| ta-C | 磁过滤 | 2.8~3.0 | 85~95 | 40~80 | 0.04~0.14 |
| Ta-C | PLD | 2.4 | 85~95 | 40~80 | 0.03~0.15 |
| 纳米金刚石 | PLD | 2.9~3.5 | 75 | 80~100 |
一致性
均匀的膜层沉积速率
寿命长
单个产品使用时间长
批量化
连续生产，产量大
操作简单
全自动化，易于操作
环保
绿色无污染生产
远程控制
远程诊断和检测
