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型号 | HY-2225 | HY-2030 | HY-2240 | HY-2245 |
真空室尺寸 | Ø2200*2500mm | Ø2000*3000mm | Ø2200*4000mm | Ø2200*4500mm |
真空室结构 | 立式单开门,卧式单开门,立式顶开门 | |||
镀膜方式 | 离子配偏压技术 | |||
极限真空 | 8.0*10-4Pa (空载) | |||
抽气时间 | 空载大气抽至5.0*10-2Pa小于20分钟 | |||
焊材类型 | 钛靶、铬靶、锆靶、铁靶、钛铝靶等 | |||
镀膜颜色 | 半透明、金、银、玫瑰金、黑、绿、蓝、紫、七彩、 TiN、ZrN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、Al2O3等 | |||
控制方式 | 全自动,半自动,手动 PLC触摸屏控制 | |||
特殊要求 | 按客户特殊工艺要求定制 |
一致性
均匀的膜层沉积速率
成本低
单个产品镀膜成本低
速度快
单批次处理时间短
操作简单
全自动化,易于操作
环保
绿色无污染生产
远程控制
远程诊断和检测