品牌
其他厂商性质
所在地
| 设备型号:ZZS-630光学真空镀膜机 | |
| 腔体尺寸:φ630mmxH750mm | 恢复真空:4x10-3Pa,小于12分钟 |
| 工件盘:φ570 SR540 | 加热温度:350°C |
| 晶控:SQC310单探头 六探头 | 所需电力:三相、380V、50HZ |
| 电子枪:双枪 | 设备进水压:0.2~0.4MPa |
| 真空系统:分子泵+双级旋片泵 | 所需气压:0.6~0.8MPa |
| 极限真空:9.0x10-5Pa | 设备重量:2T |
| 真空镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜工艺要求进行量身设计及制作 | |
