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所在地
| 设备型号:ZZS-1100光学真空镀膜机 | |
| 腔体尺寸:φ1120mmxH1300mm | 恢复真空:4x10-3Pa,小于12分钟 |
| 工件盘:φ1060SR850 | 加热温度:350°C |
| 晶控:SQC310单探头六探头 | 所需电力:三相、380V、50HZ |
| 电子枪:双枪 | 设备进水压:0.2~0.4MPa |
| 真空系统:扩散泵+双级旋片泵+罗茨泵 | 所需气压:0.6~0.8MPa |
| 极限真空:3x10-4Pa | 设备重量:4T |
| 真空镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜工艺要求进行量身设计及制作 | |
