![[4]便携式MFC-UT系列质量流量控制器](http://img68.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd2c64181b0a9479ef3fd740223e48c6a8927e91c758080566f05357da1c822006e.jpg)
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MFC-UT系列质量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款紧凑的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，对比传统的气体流量控制器，本产品采用集成化设计，使得该产品的体积大幅度缩小到传统产品的1/4，可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势。
产品应用于：半导体加工、分析仪器、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工（石化）等过程控制、气体混合配比
产品特点：
温度和压力不敏感
设计劲凑，可安装任意位置
的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
采用液晶触控显示和控制
配备比例电磁阀
![[1]MFC-T系列高精度质量流量控制器](http://img68.hbzhan.com/5eceadd4559dcfd2c64181b0a9479ef3fd740223e48c6a89fbcdf361b89e3e8dabf4476e49758c2a.jpg)