微型探针台主要应用于传感器 半导体

微型探针台主要应用于传感器 半导体

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具体成交价以合同协议为准
2024-04-26 14:25:43
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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

微型探针台主要应用于传感器 半导体探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

详细介绍

       微型探针台主要应用于传感器 半导体探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

    探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
    该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面,台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节,其中X方向调节范围:0-13mm,y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测




三:主要技术要求微型探针台主要应用于传感器 半导体

1. 类型高温型:室温~350℃ 低温型 -190℃:350℃   低温型:室温到-190

2. 腔体材质:304不锈钢

3. 腔体内尺寸:φ90x40mm

4. 腔体上视窗尺寸:Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm)

5. 腔体抽气口:KF16

6. 腔体进气口:公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

7. 腔体出气口:公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

8. 腔体正压:≤0.05MPa

9. 腔体真空度:机械泵≤5Pa 5分钟 分子泵≤5E-3Pa(30分钟

10. 样品台材质:304不锈钢

11. 样品台尺寸:26X26mm

12. 样品台-视窗 距离:30mm(可选凹视窗间距15mm

13. 样品台测温传感器:*PT100铂电阻

14. 样品台温度:室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃)

15. 样品台测温误差:±0.2

16. 样品台变温速率:高温10℃/min    低温5℃/min  值

17. 温度显示:7寸人机界面

18. 温控类型:标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温

19. 温度分辨率:0.1

20. 温控精度:±0.5

21. 温度信号输入类型:PT100热电阻 (可选 K  S  B型热电偶)

22. 温控输出:直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷)

23. 辅助功能:温度数据采集并导出  实时温度曲线+历史温度曲线

24. 电信号接头:配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头  香蕉插头  线长1.2米

25. 电学性能:绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 200V  电流噪声 10pA

26. 探针数量:4探针(可定做6探针)

27. 探针材质:镀金钨针

28. 探针尖:10μm

29. X轴移动行程:12mm    ±6mm

30. X轴控制精度:≤5μm

31. Y轴移动行程:12mm    ±6mm

32. Y轴控制精度:≤5μm

33. Z轴移动行程:12mm    ±6mm

34. Z轴控制精度:≤5μm

35. 显微镜类别:物镜放大+电子放大

36. 显微镜放大倍数:100倍

37. 显微镜工作间距:50-150mm

38. 相机分辨率:1080P  60帧

39. 相机信号输出:HDMI输出+USB输出

40. LED可调光源:LED光源

41. 显示屏:5 屏幕一体机

四:主要配置要求

1.1台 · KT-0904T-RL微型探针台一台

2.1台 · 触摸屏温控箱

3.  1个· 6mm聚四氟管

4.  1根  电源线

5:  2个  6mm金属内衬

6: 1根  触摸屏笔

7: 4个  SMA-香蕉插头

8: 1根  功率输出线

9:   6米  6mm水冷管

10: 1套  K型上盖扳手、备用螺丝,内六角

选配: 分子泵真空机组  机械泵





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