铂金叉指电*低温探针台

铂金叉指电*低温探针台

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2024-04-26 15:07:07
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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

铬金薄膜的蒸镀生长。本文所研究的叉指电极结构采用铬、金材料制作。首先需要在玻璃衬底上生长一层均匀覆盖的薄膜。将上一步工艺过程中清洗好的玻璃片放入电子束蒸发镀膜机中,抽真空后,先蒸镀 50 厚度的铬金属层,再蒸镀1000#197; 厚度的金层,后升温到 300℃进行热处理以增强铬金层的黏附性。铂金叉指电*低温探针台是一款专门用于叉指电极的经济型探针台。

详细介绍

铬金薄膜的蒸镀生长。本文所研究的叉指电极结构采用铬、金材料制作。首先需要在玻璃衬底上生长一层均匀覆盖的薄膜。将上一步工艺过程中清洗好的玻璃片放入电子束蒸发镀膜机中,抽真空后,先蒸镀 50 厚度的铬金属层,再蒸镀1000Å 厚度的金层,后升温到 300℃进行热处理以增强铬金层的黏附性。
       紫外光刻。首先利用匀胶机在玻璃衬底表面旋涂一层均匀的光刻胶,厚度大约为 1~2μm,然后利用光刻机设备以及已制备好叉指电极图形的光刻板在玻璃片表面进行紫外曝光工艺,然后在显影液中显影得到掩模图形。完成光刻后,在铬金金属薄膜表面上就形成光刻胶的电极图案。

      叉指电极是指状或梳状的面内有周期性图案的电极,它是通过电化学工艺加工获得的超精细电路。作为电信号传输核心部件,广泛应用于生物医疗检测、环境在线监测,食品安全检测,安全监测等重要领域

      

铂金叉指电*低温探针台

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铂金叉指电*低温探针台KT-Z4019MRL4T 参数  

真空腔体

类型

高温型室温到400

高低温型 室温到400  室温到-196

腔体材质

304不锈钢 6061铝合金 可选

腔体内尺寸

127mmX57mmX20mm

腔体外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔体重量

不锈钢材质 1.5KG     铝合金材质 0.5KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)

腔体抽气口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体真空测量口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体进气口

6mm快拧 6mm快插

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口


腔体正压

0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa 5分钟)  分子泵≤5E-3Pa30分钟)

样品台

样品台材质

不锈钢 银铜合金 纯银块

银铜合金 纯银块

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

电阻加热 液氮制冷

样品台-视窗 距离

11mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400

室温到400  室温到-196

样品台测温误差

±0.5

样品台升温速率

高温100/min   低温7/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1

温控精度

±0.5

温度信号输入类型

PT100 (可选K  S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热

直流线性电源加热+液氮流速控制器

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

温控器尺寸

32cmX170cmX380cm

温控器重量

5.6KG

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头 香蕉插头 线长1.2

电学性能

绝缘电阻 4000MΩ     介质耐压 200V    电流噪声 10pA

探针数量

4探针(可扩展5探针)

探针材质

镀金钨针 (其他材质可选)

探针尖

10μm

手动探针移动平台

X轴移动行程

20mm    ±10mm(需手动推动滑台)

X轴控制精度

500μm

R轴移动行程

120°    ±60°(需手动旋转探针杆)

R轴控制精度

500μm

Z轴移动行程

2mm    ±1mm

Z轴控制精度

50μm(需手动螺纹调节探针杆)



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