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等离子清洗机表面活化处理KT-S2DQX
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
等离子清洗机表面活化处理KT-S2DQX
供电电源 | AC220V(AC110V可选) |
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
射频电源功率 | 150W |
射频频率 | 13.56MHz |
频率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50欧姆,手动匹配 |
耦合方式 | 电容耦合 |
真空度 | ≤100Pa |
腔体材质 | 高纯石英 |
腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) |
观察窗内径 | Φ65 |
气体流量 | 10—100ml/min(其他量程可选) |
过程控制 | 过程手动控制 |
清洗时间 | 手动开关 |
开盖方式 | 铰链侧开式法兰 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室温度 | 小于65°C |
冷却方式 | 强制风冷 |
标配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。 |