银靶材离子溅射仪
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银 分子量 107.8682 原子数 47 颜色/外观 银色,金属色
熔点(°C) 961.78 沸点 2212℃ 密度 10.49g/cm3 电阻率 1.586×10⁻⁸ Ω·m(20℃)
陶瓷靶材采用常压烧结,气氛烧结,热等静压烧结等工艺,严格控制原料的纯度,成分及成型坯料额设计尺寸,坯料经过精密机械加工成靶材,可根据客户要求定制加工特殊掺杂比例靶材。
产品优势 靶材纯度高,致密度高,成分均匀
银是一种柔软,有光泽的元素,属于元素周期表中的金属过渡族。它的熔点为961.78℃,密度为10.49g /cm3.银的理化性质均较为稳定,导热、导电性能很好,质软,富延展性。银的理化性质均较为稳定,导热、导电性能很好,质软,富延展性。其反光率*,可达99%以上。有许多重要用途。
银靶材离子溅射仪KT-Z1650PVD镀膜客户反馈图:
银靶材离子溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数;
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
溅射电源 | 直流溅射电源 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A |
真空 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa |
溅射真空 | ≤30Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
样品台 | 可旋转φ62 (可安装φ50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品溅射源调节距离 | 40-105mm |
真空测量 | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |