银靶材离子溅射仪

银靶材离子溅射仪

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2024-04-29 09:25:27
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郑州科探仪器设备有限公司

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产品简介

银是一种柔软,有光泽的元素,属于元素周期表中的金属过渡族。它的熔点为961.78℃,密度为10.49g /cm3.银的理化性质均较为稳定,导热、导电性能很好,质软,富延展性。银的理化性质均较为稳定,导热、导电性能很好,质软,富延展性。其反光率*,可达99%以上。银靶材离子溅射仪KT-Z1650PVD在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学。

详细介绍

 分子量 107.8682   原子数 47  颜色/外观   银色,金属色

熔点(°C 961.78   沸点 2212   密度 10.49g/cm3   电阻率 1.586×10⁸ Ω·m20

    陶瓷靶材采用常压烧结,气氛烧结,热等静压烧结等工艺,严格控制原料的纯度,成分及成型坯料额设计尺寸,坯料经过精密机械加工成靶材,可根据客户要求定制加工特殊掺杂比例靶材。

产品优势  靶材纯度高,致密度高,成分均匀

银是一种柔软,有光泽的元素,属于元素周期表中的金属过渡族。它的熔点为961.78,密度为10.49g /cm3.银的理化性质均较为稳定,导热、导电性能很好,质软,富延展性。银的理化性质均较为稳定,导热、导电性能很好,质软,富延展性。其反光率*,可达99%以上。有许多重要用途。

银靶材离子溅射仪KT-Z1650PVD镀膜客户反馈图:

637850126424153843761.jpg

银靶材离子溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口






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