柔性叉指电极微型探针台
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分析表明，叉指电极传感器的电极对数对叉指电极传感器的信噪比没有影响。原因在于:叉指电极传感器的信号的大小和噪声的大小都和叉指电极结构的表面积成正比例变化关系。当叉指电极对数增加时，叉指电极结构的表面积随之增大，叉指电极传感器的信号的大小和噪声的大小同时等比例增大，使得叉指电极传感器的信噪比基本保持不变。因此可以得出结论，电极的对数对叉指电极传感器信噪比的大小基本没有影响。叉指电极间距的减小可以使信噪比增大的同时提高信号幅。如应用于化学传感领域，叉指电极间距的减小还可以有效地提高化学反应的速率、加快建立反应进行过程，从而能够提高传感器性能，并缩短叉指电极传感器反应的时间。叉指电极传感器的电极宽度的减小在提高信噪比的同时会使检测信号的幅值降低。
折叠
制造工艺
1.叉指电极基底的选择
衬底 成本 金属化 机械性
陶瓷 中等 一般 较差
塑料 低廉 较差 一般
硅 较高 较好 非常好
玻璃 较低 较好 较差
柔性叉指电极微型探针台
柔性叉指电极微型探针台KT-Z4019MRL4T 参数
真空腔体 | ||
类型 | 高温型室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 6061铝合金 可选 | |
腔体内尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔体外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔体重量 | 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） | |
腔体抽气口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体真空测量口 | KF16法兰（其余接口规格可转接） | |
腔体进气口 | 6mm快拧 或 6mm快插 | |
腔体冷却方式 | 腔体水冷+上盖气冷 | |
腔体水冷接口 | ||
腔体正压 | ≤0.05MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） | |
样品台 | ||
样品台材质 | 不锈钢 银铜合金 纯银块 | 银铜合金 纯银块 |
样品台尺寸 | 26x26mm | |
样品台加热方式 | 电阻加热 | 电阻加热 液氮制冷 |
样品台-视窗 距离 | 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） | |
样品台测温传感器 | PT100型热电阻 | |
样品台温度 | 室温到400℃ | 室温到400℃ 室温到-196℃ |
样品台测温误差 | ±0.5℃ | |
样品台升温速率 | 高温100℃/min 值 低温7℃/min | |
温控仪 | ||
温度显示 | 7寸人机界面 | |
温控类型 | 标准PID温控 +自整定 | |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
温控精度 | ±0.5℃ | |
温度信号输入类型 | PT100 （可选K S B型热电偶） | |
温控输出 | 直流线性电源加热 | 直流线性电源加热+液氮流速控制器 |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 | |
温控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
温控器重量 | 约5.6KG | |
探针 | ||
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 | |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA | |
探针数量 | 4探针（可扩展5探针） | |
探针材质 | 镀金钨针 （其他材质可选） | |
探针尖 | 10μm | |
手动探针移动平台 | ||
X轴移动行程 | 20mm ±10mm（需手动推动滑台） | |
X轴控制精度 | ≥500μm | |
R轴移动行程 | 120° ±60°（需手动旋转探针杆） | |
R轴控制精度 | ≥500μm | |
Z轴移动行程 | 2mm ±1mm | |
Z轴控制精度 | ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） | |
