RTP红外测温仪

RTP红外测温仪

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2024-06-02 07:10:46
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武汉迪凯光电科技有限公司

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产品简介

主要应用:半导体生产过程中的温度测量如:RTA、RTP、CVD等工艺。

详细介绍

RTP红外测温仪特点

 

两种光学采集系统可供选择: 光导型、透镜

光导型的优点:直径小,仅通过很小的通光孔径,能够从大视场角度收集辐射能量,采集到极限低温信号。

透镜型:适合远距离测量小目标或透过观察窗测量目标温度。

短波长实现低温目标温度测量

严谨科学的设计、可实现10 -13 A的信号的放大;实现短波长测量低温目标的能力;短波长显著降低发射率造成的测量误差,是许多应用的理想选择,如半导体工业中硅片的温度测量。

温度分辨可达0.01℃

严谨的电路设计使得电噪声更小,可实现低温目标的准确测量。高温度分辨力使得温度控制过程更加平稳。

测量速度高达1Khz(1ms)

该系列测温仪可以提供每分钟一个读数直至每秒1000个读数,客户可按需选择。此外,测温仪执行所有内部的A/D转换,每台仪器提供一个数字信号输出。

宽范围的温度测量能力

高精的电子元器件及光路设计使得测温仪测温范围更宽,可以实现从室温(25℃)到4000℃ 的高温测量。

低漂移

的元器件选择和设计有效减少电子器件中的漂移,测温仪实现温漂不高于 0.1 ºC / 年。

精巧易安装,不再依赖光纤

小尺寸、高性能使得测温仪能够在离热源足 够近的地方测温,且不再需要长柔性光纤元件。在需要光纤的应用中, 迪凯的产品仍然具有显著优势,可提供全系列柔性石英光纤,以满足不同使用现场需求。

 

基本参数

测量温度范围  100-1300℃

测量精度:±1.5℃/0.15%读数

复精度:±0.10℃

分辨率:  0.01℃
响应时间:1ms    
通光孔径:  2mm(其它可选)

 

电气参数

数字输出:RS422

模拟输出:无

操作参数及执行标准

防护等级:IP65

工作温度:10-60℃

存储温度:-20-70℃

相对湿度:10-95%,无结露

抗扰标准:JB/T9233.11-1999

抗冲击:  GB/T2423.1,GB/T2423.2

 

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