型号

QV-APEX302PRO
QV-APEX302PRO2
QV-APEX302PRO3
QV-HYPER302PRO

QV-APEX404PRO
QV-APEX404PRO2
QV-APEX404PRO3
QV-HYPER404PRO

QV-APEX606PRO
QV-APEX606PRO2
QV-APEX606PRO3
QV-HYPER606PRO

测量范围 X轴

Y轴

Z轴

300mm

400mm

600mm

200mm

400mm

650mm

200mm

250mm

250mm

分辨率

0.1μm[0.02μm]

高灵敏度CCD照相机

黑白(PRO3型号:彩色)

精度* E1XY

(20°C±0.2°C) E1Z

E2XY

(1.5+3L/1000)μm[(0.8+2L/1000)μm]

(1.5+4L/1000)μm[(1.5+2L/1000)μm][PRO2型号:(4.0+5L/1000)μm]

(2+4L/1000)μm[(1.4+3L/1000)μm][PRO2型号:(2.5+4L/1000)μm]

照明 表面

(PRL：可编程环行灯)轮廓

PRL

LED,RGB(PRO2和PRO3型号:卤素灯)

LED,白色(PRO2和PRO3型号:卤素灯)

LED,RGB(PRO2和PRO3型号:卤素灯)

放大倍率变化系统

可编程电动转盘(PRO2型号:程控倍率透镜)

驱动速度 X/Y 轴

Z 轴

300mm/s[200mm/s]

400mm/s[200mm/s]

400mm/s[200mm/s]

300mm/s[200mm/s]

300mm/s[200mm/s]

300mm/s[200mm/s]

工作台玻璃尺寸

399x271mm

493x551mm

697x758mm

工件高度

200mm

250mm

250mm

工件负载

20kg[15kg]

40kg[30kg]

50kg[40kg]

尺寸(WxDxH)**

784x860x1535mm

1040x1220x1765mm

1310x1861x1821mm

重量**

383kg

662kg

1848kg