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射频电源
优势 | 功能 |
● 更长的制程正常运行时间 ● 更高的操作简易性和灵活性 ● 稳定可靠的功放和直流模块方案 ● 长期的使用简易性,节省成本 ● 完善的售后服务和支持 | ● 高效率——低发热量 ● 通信:15针和25针两个模拟用户端口选择,RS- 232/485 ● 多功能前面板 ● 便利、全面的操作菜单 ● CEX(相位同步)操作模式 ● 完善的反射功率保护 |
自动匹配器
优势 | 功能 |
● 提高生产力、增加产量、降低生产成本 ● 长期稳定的制程时间保证 ● 易于安装和操作 | ● 快速、精确和可重复的阻抗匹配 ● 的、可直接应用的功能,满足多种应用领域需求 ● 多功率和频率范围 |