Park NX20-上海明古嘉电子科技有限公司手机版

详细介绍

用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

大全面的分析功能

Park NX20具备无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。

即便是次接触原子显微镜的工程师也易于操作

ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

样品侧壁三维结构测量

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所的。

对样品和基片进行表面光洁度测量

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的失效分析和质量保证。

高分辨率电子扫描模式

QuickStep SCM
的扫描式电容显微镜

PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜

多种的技术帮助顾客减少测试时间

CrN样品所做的针尖磨损实验

通过对比重复扫描情况下探针的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。

AFM测量

借助真正非接触模式，探针在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌

没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。
在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。

没有前沿或后沿过冲现象
终身无需校准，减少设备维护成本

Park NX系列原子力显微镜

传统的原子力显微镜

Park NX20特点

低噪声XYZ位置传感器

自动多点样品扫描

扫描头滑动嵌入式设计

用于高级扫描模式易插拔扩展槽

高速24位数字电子控制器

高速Z轴扫描器，扫描范围达15 µm

集成编码器的XY自动样品载台

操作方便的样品台

同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统。

自动Z轴移动和聚焦系统

产品简介