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BCB无氧烘箱,BCB固化烤箱应用背景
BCB作为一类高性能聚合物,以它*的性质,将会被越来越多地使用。BCB是具有优良的热稳定性、化学稳定性、电绝缘性和机械强度的高性能材料。在现代高技术领域有非常重要的应用。例如在微电子制造中,用作各类器件钝化防护和层间介电等。
BCB无氧烘箱,BCB固化烤箱工艺要求
涂BCB后,聚合物膜层需被处理以确保对后序处理操作的抵抗性。
由BCB树脂构成的膜的处理需在无氧条件下(<100ppm)进行。
1. 3-8分钟 上升到50℃ 恒温5-15分钟
2.15-20分钟 上升到100℃ 恒温15-25分钟
3.15-20分钟 上升到150℃ 恒温15-25分钟
4. 40-80分钟上升到250℃ 恒温45-65分钟
5.冷却
无氧烘箱技术指标:
工作室尺寸(mm):350*350*350/450*450*450/600*600*600/可定制
真空度:≤133pa
温度:TT+50~400℃
升温速率:1~8℃/m,可调
降温时间:350-90℃≤80min
氧浓度:≤10ppm
箱内材质:316L医用级不锈钢
真空泵:涡旋式无油泵
保温材质:陶瓷纤维
冷却装置:水冷+风冷
操作方式:人机界面+PLC
运行功能:自动一键运行
程序模式:多个工艺保存编辑