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高温真空无氧烤箱JS-GYZF040,隽思无氧烘箱的用途
隽思无氧烘箱用于PI/BCB/LCP/PBO光刻胶固化、厌氧烘烤、MEMS生产、高温退火等工艺,适用于半导体、电子、新材料等研发,生产。常用于科研单位,高校实验室,工厂生产线等场所。
微电子器件的钝化层和缓冲内涂层、多层金属互联电路的层间介电材料、光电印制电路板基材。
BCB是具有优良的热稳定性、化学稳定性、电绝缘性和机械强度的高性能材料。在现代高技术领域有非常重要的应用。例如在微电子制造中,用作各类器件钝化防护和层间介电等。
PBO化学纤维是用液晶纺丝PBO聚合物制成的高性能化学纤维。在强度、比模量、耐热性、阻燃性等方面具有独TE的性能。
液晶高分子(LCP)是指在一定条件下能以液晶存在的高分子,其特点为分子具有较高的分子量且具有取向有序。LCP性能优异、介电损耗低,有望在5G高频信号传输中加速应用
高温真空无氧烤箱JS-GYZF040,隽思无氧烘箱工艺要求
无氧烤箱固化工艺步骤:
设备内部达到低氧真空状态下
1.低温预热
2.线性升温至中温阶段
3.中温阶段恒温
4. 线性升温至高温阶段
5.高温阶段恒温
6.降温
无氧固化设备性能要求:
温度范围: RT+30~350℃;
升温速度:0-5℃/min,线性升温;
降温方式:辅助降温
氮气控制:氮气流量可控
氧含量检测:氧浓度实时检测,小于50ppm
工作尺寸:W350×H350×D350,可定制
真空度:可达1torr
真空泵:无油泵