高温真空无氧烤箱JS-GYZF040,隽思无氧烘箱 工业烘箱
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高温真空无氧烤箱JS-GYZF040,隽思无氧烘箱 工业烘箱

参考价: 订货量:
98650 1

具体成交价以合同协议为准
2023-04-13 10:36:54
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属性:
材质:316L;工作室尺寸:350mm;功率:6.0;加工定制:是;类型:真空;适用范围:PI/BCB/LCP/PBO半导体;温度范围:400/500℃;
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产品属性
材质
316L
工作室尺寸
350mm
功率
6.0
加工定制
类型
真空
适用范围
PI/BCB/LCP/PBO半导体
温度范围
400/500℃
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上海隽思实验仪器有限公司

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产品简介

高温真空无氧烤箱JS-GYZF040,隽思无氧烘箱用于PI/BCB/LCP/PBO光刻胶固化、厌氧烘烤、MEMS生产、高温退火等工艺,适用于半导体、电子、新材料等研发,生产。常用于科研单位,高校实验室,工厂生产线等场所。

详细介绍

高温真空无氧烤箱JS-GYZF040,隽思无氧烘箱的用途

    隽思无氧烘箱用于PI/BCB/LCP/PBO光刻胶固化、厌氧烘烤、MEMS生产、高温退火等工艺,适用于半导体、电子、新材料等研发,生产。常用于科研单位,高校实验室,工厂生产线等场所。

微电子器件的钝化层和缓冲内涂层、多层金属互联电路的层间介电材料、光电印制电路板基材。

BCB是具有优良的热稳定性、化学稳定性、电绝缘性和机械强度的高性能材料。在现代高技术领域有非常重要的应用。例如在微电子制造中,用作各类器件钝化防护和层间介电等。

  PBO化学纤维是用液晶纺丝PBO聚合物制成的高性能化学纤维。在强度、比模量、耐热性、阻燃性等方面具有独TE的性能

液晶高分子(LCP)是指在一定条件下能以液晶存在的高分子,其特点为分子具有较高的分子量且具有取向有序。LCP性能优异、介电损耗低,有望在5G高频信号传输中加速应用

高温真空无氧烤箱JS-GYZF040,隽思无氧烘箱工艺要求

无氧烤箱固化工艺步骤:

设备内部达到低氧真空状态下

1.低温预热

2.线性升温至中温阶段

3.中温阶段恒温

4. 线性升温至高温阶段

5.高温阶段恒温

6.降温

无氧固化设备性能要求:

温度范围: RT+30~350℃;
升温速度:0-5℃/min,线性升温;
降温方式:辅助降温
氮气控制:氮气流量可控
氧含量检测:氧浓度实时检测,小于50ppm
工作尺寸:W350×H350×D350,可定制

真空度:可达1torr

真空泵:无油泵


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