概述Summary
我公司生产的LDRS型不锈钢硅烷燃烧净化塔是处理硅烷、氨气及其他碱性可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及PECVD化学气相沉淀工艺所产生的废气。
本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方便采用压缩空气加新风进气口双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到*保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。经部门检测，客户单位硅烷（SiH4）去除率≥99.99％，氨气（NH3）以及其他水溶性的净化率高达99.99％。

工作原理Operation principle
 
本产品采用优质不锈钢板进行制造，根据硅烷与空气接触而自然的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷淋处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器处理后由抽风机排入大气。