产品特色

●  多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。

●  连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

●  耐用。21Q系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。

精度升级

量程为10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度         ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取值）

测量和控制范围             0.1 ~ 99%满量程

重复性                          ± 0.1%满量程

质量流量零点漂移        ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                    ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移        ± 0.01%读 数/ ℃温差

                                    ± 0.1 %读 数/ Atm压力差

技术指标

介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体，请参考气体兼容表

                  一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量       程    从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）

测量和控制范围    0.5% ~ 99%满量程

显示流量    高达128%满量程（取决于气体）

可控流量    102.4%满量程

显  示  屏    带集成触摸板的单色LCD或彩色TFT显示器

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力和温度

精       度    ± 2%满量程  精度升级见上段

重  复  性    ± 2%满量程

零点漂移&满量程漂移    0.02% 满量程/ ℃/ Atm

响应时间    优于100 ms

预热时间    ＜1s

标定工况    25 ℃&1Atm（其它标况可调）

工作温度    -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至100℃）

温度精度    ± 0.75℃

工作湿度    0 ~ 99%

工作压力    320 psia

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40Hz@19200波特率；

                         模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率    10Hz

数字输入/输出信号    RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模拟输入/输出信号    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可选第二路模拟输出    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模拟信号精度    在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

供电电压     12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA输出）

供电电流    0.250 A

电气接口    DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率（外漏）    选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       质    303和302不锈钢、Viton®、热固化硅橡胶、玻璃增强聚苯硫醚、热固化环氧树脂、铝、金、黄铜、430FR 不锈钢、硅、玻璃。如果您申请需要其它材料，请联系我们。

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求

防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）

 *如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询