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ZXL-830D型氦质谱检漏仪
一、产品介绍
ZXL-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏。
二、主要技术指标
1.最小可检漏率:2×10-12Pa·m3/s
2.漏率显示范围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3.启动时间:≤3min
4.响应时间:≤1s
5.检漏口的压力:1500Pa
6.极限压强:5×10-4Pa
7.电源要求:220V,50Hz,单相,10A
8.工作环境:5-35℃
9.相对湿度:≤80%
10.外形尺寸:550(W)×420(D)×700(H)
11.重量:65kg
三、主要配置
1.进口检漏仪专用分子泵
2.进口干泵
3.配置标准漏孔
4.美国AD放大器
5.采用质谱专用模块
6.台达触摸彩屏