Leybold冷冻泵#莱宝高真空泵#莱宝COOLVAC低温泵

COOLVAC vacuum pumps are gas entrapment cryo pumps where gaseous substances are bound to the cold surfaces within the pump by means of cryocondensation, cryosorption or cryotrapping. For that purpose the cold surfaces （cryopanels） must be cooled to a sufficiently low temperature. The COOLVAC pumps are cooled by two-stage cold heads of the COOLPOWER series using the Gifford/McMahon principle. COOLVAC pumps produce a hydro carbon free ultra high vacuum in the pressure range from 10^-3mbar to 10^-11 mbar （0.75•10^-3 to 0.75•10^-11Torr）.

Leybold莱宝低温泵是利用低温表面冷凝气体的原理制作的真空泵。Leybold莱宝低温泵是获得清洁真空的极限压力zui低、抽气速率zui大的真空泵，Leybold莱宝低温泵广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

Leybold冷冻泵#莱宝高真空泵#莱宝COOLVAC低温泵

COOLVAC 800 BL
零件。844160V1006
泵送速度：800升/秒的
高真空连接法兰：DN 160 ISO-K 
连接真空法兰脱颖而出：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 800 BL
零件。844160V1002
泵送速度：800升/秒的
高真空连接法兰：DN 160 CF 
脱颖而出真空连接法兰：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 800 BL
零件。844160V9002
泵送速度：800升/秒的
高真空连接法兰：DN 160 CF 
脱颖而出真空连接法兰：DN 40 CF

COOLVAC 800 CL
零件。844160V0006
泵送速度：800升/秒的
高真空连接法兰：DN 160 ISO-K 
连接真空法兰脱颖而出：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 800 CL
零件。844160V0002
泵送速度：800升/秒的
高真空连接法兰：DN 160 CF 
脱颖而出真空连接法兰：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 1.500 CL
零件。844200V0006
泵送速度：1.500升/秒的
高真空连接法兰：DN 200 ISO-K 
连接法兰前真空：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 1.500 CL
零件。844200V0002
泵送速度：1.500升/秒的
高真空连接法兰：DN 200 CF 
脱颖而出真空连接法兰：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 2.000 CL
零件。844250V0006
泵送速度：2.100升/秒
高真空连接法兰：DN 250 ISO-K 
前真空连接法兰：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 2.000 CL
零件。844250V0002
泵送速度：2.100升/秒
高真空连接法兰：DN 250 CF 
前真空连接法兰：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 3.000 CL
零件。844320V0006
泵送速度：3.000升/秒的
高真空连接法兰：DN 320 ISO-K 
前真空连接法兰：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 3.000 CL
零件。844320V0004
抽水速度：3.000升/秒
高真空连接法兰：DN 10“ANSI 
脱颖而出真空连接法兰：DN 25 ISO-KF

COOLVAC 5.000 CL
零件。844410
抽气速度：5.000升/秒
连接法兰高真空：DN 400 ISO-K 
前真空连接法兰：DN 40 ISO-KF

COOLVAC 10.000 CL 零件。844610V0006 泵送速度：10.000升/秒的 高真空连接法兰：DN 500 ISO-K  连接真空法兰脱颖而出：DN 40 ISO-KF

Leybold冷冻泵#莱宝高真空泵#莱宝COOLVAC低温泵

COOLVAC 18.000 CL 零件。844630V0006 泵送速度：18.000升/秒 高真空连接法兰：DN 630 ISO-F  前真空连接法兰：DN 63 ISO-K

COOLVAC 30.000 CL 零件。DU0073 泵送速度：30.000升/秒 高真空连接法兰：DN 35“ANSI  法兰连接前真空：DN 63 ISO-K

COOLVAC 60.000 CL 零件。DU0074 泵送速度：57.000升/秒 高真空连接法兰：DN 1250 ISO-F  前真空连接法兰：DN 63 ISO-K

Leybold莱宝低温泵的工作原理：在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。①低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。抽空气时，冷板温度必须低于 25K；抽氢时，冷板温度更低。低温冷凝抽气冷凝层厚度可达10毫米左右。②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 （10-8厘米数量级）被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。 
　　一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。图1为某些气体的蒸气压力 -温度关系曲线。从图中可以看出温度为120K时,水的蒸气压已低于10-8帕。温度为20K时,除氦、氖和氢外,其他气体的蒸气压也低于10-8帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时,泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。