HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱

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JS HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱

型号
JS
参数
材质:不锈钢 工作室尺寸:980mm 功率:4000 加工定制:是 类型:真空 适用范围:太阳能、半导体、集成电路 温度范围:200℃ 重量:390kg
上海隽思实验仪器有限公司

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上海隽思实验仪器有限公司(以下简称“隽思仪器”)是一家专业从事仪器设备研发、生产、销售及服务的企业。主要生产半导体工艺设备、环境模拟仪器设备、线缆试验机、橡塑试验检测设备、黑蒜设备等的高新技术型企业,具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业,建筑,节能等行业;多年来,公司以“真挚的服务、优质的品质”为宗旨,为国内外广大用户提供了周到的售前、售中、售后服务。赢得了国内外客户的*好评,更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精,更完善!
 隽思仪器主要业务有HMDS预处理系统,HMDS烘箱,洁净烤箱,百级洁净烘箱,氮气烘箱,高温无氧烘箱,真空无氧烘箱,无尘无氧化烘箱,抗粘剂涂胶机,精密恒温加热台,快速高低温气流仪,超低温试验箱高低温试验箱,高低温交变湿热箱定做,HMDS真空涂胶烘箱,低温脆性检测仪,黑蒜发酵设备,导体直流电阻测试仪,电线电缆检测仪器,真空烘箱,黑蒜试验机,橡塑检测试验机等。
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详细信息

HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱简介

光伏刻蚀是太阳能电池制造过程中的重要环节,下面是一般光伏刻蚀工艺的流程:

1. 表面准备:可以采用清洗溶液、酸洗、超声波清洗等方式。

2. 光罩/掩膜涂覆:在光伏刻蚀中,需要使用光罩或掩膜来保护不需要刻蚀的区域。光

3. 刻蚀:具体刻蚀条件(如刻蚀液的浓度、温度、刻蚀时间等)会根据电池设计和制造要求进行控制。

4. 刻蚀后处理:后处理可能包括漂洗、清洗、脱罩等步骤,以确保电池片的质量和可靠性。

5. 光伏电池制造其他工艺:刻蚀只是太阳能电池制造的一部分,之后还需要进行光伏电池的其他工艺。

HMDS烘箱,太阳能电池片HMDS烘箱用途

光刻蚀刻加工的基本原理:

1. 光敏材料涂覆:首先,在待加工的基底表面涂覆一层光敏感材料(例如光刻胶)。该材料对于特定波长的光会发生化学或物理变化。涂覆的光敏材料形成了一个称为“光刻胶层”的薄膜。

2. 光罩设计和准备

3. 曝光

4. 图案形成

5. 刻蚀。

然而在光敏材料涂覆前需要将电池片基底做疏水性处理,该处理工艺需要借助HMDS增粘剂。一般通过气相沉积的方法将HMDS处理在衬底表面。该设备为上海隽思HMDS烘箱

HMDS烘箱的性能:

温度范围:RT+10-200℃

真空度:≤1torr

操作界面:人机界面

工艺编辑:可储存5个配方

气体:N2进气阀,自动控制

容积:定制

产品兼容性:2~12寸晶圆及碎片、方片等

适用行业:MEMS、太阳能、电池片、滤波、放大、功率等器件,晶圆、玻璃、贵金属,SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO(氧化锌)、GaO(氧化镓)、金刚石等第三代半导体材料。




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产品参数

材质 不锈钢
工作室尺寸 980mm
功率 4000
加工定制
类型 真空
适用范围 太阳能、半导体、集成电路
温度范围 200℃
重量 390kg
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