增加结合力等离子清洗机

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

等离子清洗/刻蚀机的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面。

与传统使用物理打磨机和有机溶剂的湿法清洗相比，等离子表面处理器具备以下优势:
等离子表面处理器的清洗方式是干式清洗，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以大幅提高整个工艺流水线的处理效率;
等离子表面处理机使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;
避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种属于环保的绿色清洗方法。这在高度关注环保的情况下越发显出它的重要性;
采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子表面处理器等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果像是甚至更好;

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