等离子清洗机产品代工

我司由多名*从事等离子体技术应用研究，设计制造和销售的业内*人士创建。核心技术发轫于欧洲，同时充分借鉴欧美的*技术，并通过与国内外研发机构合作，整合各行业的资源优势，生产出多系列具有自主知识产权的高性能的等离子体处理系统。集团合作团队包括EUROPLASMA、ACXYS等，应用领域涉及电子、光电、汽车、塑料、纺织、生物、医疗、化工、日用品及家电等行业。设备制造经验丰富：欧洲总部成立于1973年，在业内有30多年等离子设备制造及研发经验；自 1985年交付世界上*台真空设备以来，在范围内已经销售12300多台设备；技术实力雄厚：中国市场成立以来，已卖出八百多台等离子设备。

等离子体刻蚀在集成电路制造中已有40余年的发展历程，早70年代引入用于去胶，80年代成为集成电路领域成熟的刻蚀技术。等离子刻蚀采用的等离子体源常见的有容性耦合等离子体（CCP-capacitively coupled plasma）、感应耦合等离子体ICP。

等离子清洗机产品代工

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应不同气体的等离子体具有不同的化学性能。